攜手Brooks簽15年獨家技術授權 科嶠自研FOUP清洗設備進軍全球
- 王嘉瑜／台北
自動化乾燥設備廠科嶠宣布攜手美國Brooks Automation，合作簽署為期15年的技術授權協議，雙方於6月30日共同舉行「半導體技術在地化創新策略聯盟簽約儀式」。科嶠董事會6月29日決議通過，將自有之半導體晶圓傳載盒（FOUP）...
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